真空計的別名真空表,是精確測量真空值或標準氣壓的儀器設備。通常是運用不一樣標準氣壓下氣體的某類物理效用?的轉變開展標準氣壓的精確測量。在科學研究和工業化生產中普遍應用。
分類原理簡介
依照真空計精確測量原理所運用的不一樣的物理機制,可將主要的真空計分成三類別,各自是運用力學性能、運用氣體動力學模型效用和運用帶電粒子效應的真空計。
運用力學性能的真空計典型性的有波爾登規和薄膜電容;運用氣體動力學模型效用的典型性真空計有皮拉尼(Pirani)電阻器規和熱電阻規;運用帶電粒子效用的典型性真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。