專注微小流量監(jiān)控可定制、最小流量可測0.1ml/min
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量程范圍：10SCCM~20SLM
零點漂移&滿量程漂移：0.02%F·S/℃/Atm
工作范圍/量程可調(diào)比：2%~100%F·S/50：1
最大可測流量：100%F·S
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