小量程氣體流量計(jì)

小量程氣體流量計(jì)是一款質(zhì)量流量計(jì)，既可以顯示體積流量，也可以顯示質(zhì)量流量，用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產(chǎn)品特點(diǎn)

高精度、重復(fù)性好，信號穩(wěn)定。

數(shù)字信號，數(shù)據(jù)可以鏈接電腦數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

預(yù)熱時(shí)間短、領(lǐng)漂小。

不受安裝方位的影響。

體積小、安裝簡單、使用方便。

接口定義

生產(chǎn)工廠