mfc 質(zhì)量流量控制器

       MFC質(zhì)量流量控制器是一種高精度的流量測量儀器，用于控制和監(jiān)測氣體和液體的流量。它采用了最先進的微處理技術(shù)和傳感器技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的流量測量和控制。MFC質(zhì)量流量控制器具有多種規(guī)格和型號，可以滿足不同流量和控制精度的需求。

     產(chǎn)品原理

        MFC質(zhì)量流量控制器的采用可靠性的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

    產(chǎn)品參數(shù)

     產(chǎn)品應(yīng)用

       質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。